1．工作原理
激光扫描显微镜是建立在光学显微镜及各种扫描显微镜基础上的一种新型的扫描成象系统.利用聚焦的激光束在样品表面扫描,同时利用光电检测器件接收样品反射光（或透射光）,样品结构的变化使反射光（或透射光）强度改变,因而使光电检测器的输出电流改变,经信号处理,同步显示在计算机屏幕上.由于照射在样品的是聚焦的激光束,具有很小的直径,因此没有来自邻近区域的散射光的影响,从而可以提高信噪比,即增强了对比度.同时由于激光扫描显微镜是直接接收反射光（或透射光）,因此检测灵敏度高,且检测系统比较简单.
本仪器采用共焦方法,还可以在光束能透入的范围内实现深度剖面的分层成象,因此成为研究薄膜材料、集成电路及生物组织乃至细胞等的微细结构及其深度剖面的非常有效的工具.对半导体器件,由于光电效应,可通过适当负载直接接收光电流,将光电信号通过成象处理,即可得到光电成象.