x光电子能谱仪.
待测物受X光照射后内部电子吸收光能而脱离待测物表面(光电子),透过对光电子能量的分析可了解待测物组成,XPS主要应用是测定电子的结合能来实现对表面元素的定性分析,包括价态.
但是目前标准数据很少,最好用标准物质对照一下.