flow应该是流程的意思；capability是能力,能量,容量,有performance的意思,或者是performance里面最重要的一环；WPH是 wafer per hour,是每小时的出片量,是throughput的一个衡量指标,说白了就是产量；MPS好像有很多同...
半导体的FLOW、capability、WPH、MPS和STEP各代表什么意思啊
flow应该是流程的意思；capability是能力,能量,容量,有performance的意思,或者是performance里面最重要的一环；WPH是 wafer per hour,是每小时的出片量,是throughput的一个衡量指标,说白了就是产量；MPS好像有很多同...