同质性/异质性外延
衬底材料与外延材料相同∶同质性外延 (Homoepitaxy)
晶格匹配一致 例如∶GaAs/GaAs
衬底材料与外延材料不同∶异质性外延(Heteroepitaxy)
通常具有晶格匹配不一致的问题例如∶GaN/Sapphire, GaN/Si, AlInGaP/GaAs
异质性外延通常藉由缓冲层的方式来解决晶格不匹配的问题.
四元的外延成长可藉由调整铟组成的方式让外延薄膜与衬底晶格匹配
同质性/异质性外延
衬底材料与外延材料相同∶同质性外延 (Homoepitaxy)
晶格匹配一致 例如∶GaAs/GaAs
衬底材料与外延材料不同∶异质性外延(Heteroepitaxy)
通常具有晶格匹配不一致的问题例如∶GaN/Sapphire, GaN/Si, AlInGaP/GaAs
异质性外延通常藉由缓冲层的方式来解决晶格不匹配的问题.
四元的外延成长可藉由调整铟组成的方式让外延薄膜与衬底晶格匹配