我以前的学位论文是关于等离子体化学气相淀积的内容.
我不知道你用的等离子体是低温等离子体,还是高温等离子体.
如果是高温等离子体（高于1500摄氏度）,恐怕没有现成的设备,需要自己设计、自己找生产工厂加工.我记得当时高频等离子体发生设备是经中科院物理研究所介绍,在辽宁铁岭购买的.
如果是低温等离子体,可参见：http://stove.newmaker.com/pro_4061.html
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如果是高温等离子体（高于1500摄氏度）,恐怕没有现成的设备,需要自己设计、自己找生产工厂加工.我记得当时高频等离子体发生设备是经中科院物理研究所介绍,在辽宁铁岭购买的.
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